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石墨熱場(chǎng)以及部件在單晶硅的制造中起著關(guān)鍵的載體作用

2020-06-08 16:10:59

  直拉單晶爐的熱系統(tǒng),也就是所謂的熱場(chǎng),是指為了熔化硅料,并使單晶生長(zhǎng)保持在一定溫度下進(jìn)行的整個(gè)系統(tǒng)。



  熱場(chǎng)一般包括(石墨材料)壓環(huán)、保溫蓋、上中下保溫罩、石墨坩堝(三瓣堝)、坩堝托桿、坩堝托盤、電極、加熱器、導(dǎo)流筒、石墨螺栓,且為了防止漏硅,爐底、金屬電極、托桿、都設(shè)置了保護(hù)板、保護(hù)套。



  21世紀(jì),越來越多的用戶開始注意到石墨材料,石墨具有耐高溫、導(dǎo)電、導(dǎo)熱性良好、潤(rùn)滑性等主要特點(diǎn),抗熱震性等在新能源引領(lǐng)未來的時(shí)代,石墨熱場(chǎng)以及部件在單晶硅的制造中起著關(guān)鍵的載體作用。



  在真空爐中熱場(chǎng)是決定單晶硅好壞的決定因素,通過對(duì)石墨熱場(chǎng)的了解,決定熱場(chǎng)石墨組件的好壞的因素有很多,其中石墨原材料的選擇和加工工藝上非常關(guān)鍵

石墨熱場(chǎng)以及部件在單晶硅的制造中起著關(guān)鍵的載體作用

  由于單晶爐石墨熱場(chǎng)大多是采用等靜壓石墨來加工,對(duì)于石墨制品加工企業(yè)來說石墨材料要比加工工藝所占的比重大一些,那么提高石墨熱場(chǎng)的利用率是石墨制品加工企業(yè)都要考慮的問題,因此在報(bào)價(jià)給看客戶報(bào)價(jià)的時(shí)候除了考慮石墨原材料理化指標(biāo),更多的還要考慮石墨熱場(chǎng)的壽命。


  清爐是個(gè)技術(shù)活,清爐不到位,將影響到單晶的正常生長(zhǎng),輕者,無法正常生長(zhǎng)單晶,重者,將會(huì)導(dǎo)致停爐,大家在清理單晶爐中應(yīng)該注意到幾點(diǎn):


  1、盡量將噴濺到石墨部件上的硅滴去除,劣化嚴(yán)重的石墨件要向主任報(bào)告及時(shí)更換。


  2、用刷子和吸塵器清理各種石墨件,一定要注意清理管道的重要性。


  3、石墨件要輕拿輕放,避免石墨件受損。


  4、清理干凈的石墨件,應(yīng)放在干凈的不銹鋼推車上,避免二次污染。

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